high purity
systems
for semiconductor
Полуавтоматический шкаф серии RTES GC-1
1 cylinders
Однобаллонный газовый шкаф предназначен для подачи неопасных газов высокой чистоты. Оснащен отсечными клапанами. Процедура замены баллона подразумевает ручную продувку панели.
  • Шкаф оборудован ПЛК и сенсорной панелью
  • Предоставляет данные об остатке газа и режиме работы для систем автоматизации верхнего уровня
  • Дистанционное отключение подачи газа
  • Местный отсос
  • Спринклер для охлаждения баллона
Дополнительные опции:
Ключевые характеристики:
  • Газодетекция
  • Баллонные весы
  • Преднагреватель регулятора давления
  • Обогрев баллона
  • Внешняя линия продувки
  • Фильтр тонкой очистки 0,003 мкм