high purity
systems
for semiconductor
RTES VMB
Вариант панели
RTES VMB
Вариант панели
RTES VMB
Вариант панели
RTES разрабатывает и производит VMB c различным набором клапанов для особо чистых и промышленных систем обработки газов
Наши газовые шкафы VMB включают функцию вентиляции/продувки с вспомогательным вакуумным генератором для опасных технологических газов
Стандартные конфигурации сборки VMB включают источник подачи технологического газа с одним входом и конфигурацией различного количества выходов для технологических газов
Опции газовых панелей RTES VMB
Разработаны для безопасной, эффективной и надежной работы с инертными технологическими газами
Компактные конструкции уменьшают потребность в пространстве и упрощают установку
Надежные высококачественные компоненты помогают снизить требования к техническому обслуживанию
Каждый элемент (stick) оснащен регулятором, EFS (переключателем избыточного расхода), фильтром и пневматическим клапаном ESO (аварийного отключения) в стандартной комплектации
Контроллер безопасности с монитором токсичности, датчиком выхлопных газов, датчиком пожара, дистанционным отключением, мониторингом вспомогательной сигнализацией
Обеспечивает ручное управление с помощью пневматического клапана ESO, что соответствует требованиям для работы с опасными газами
Ручная вентиляция/продувка с модулем вакуумной вентиляции «вентури» в стандартной комплектации
Также доступны индивидуальные конфигурации VMB, разработанные в соответствии с вашими требованиями к расходу и требованиями совместимости газов
Особенности и преимущества газовых панелей RTES VMB
Конфигурация UHP в компактном корпусе