high purity
systems
for semiconductor
Все системы и компоненты, используемые при производстве оборудования, при обвязке технологического оборудования (hook-up/fit-up) проходят обязательное тестирование. На все комплектующие предоставляются соответствующие сертификаты. Для проведения квалификации систем используется аттестованное, современное оборудование:
Анализаторы углеводородов
Гелиевый течеискатель
Прецизионные бороскопы
Анализаторы
кислорода
Анализаторы
влажности
Счетчики частиц
PMS
Мы используем
только аттестованное, современное оборудование
Испытание на утечку гелием до 1 x 10-9 Атм-см3/с
Испытания под давлением и функциональные испытания в соответствии с заданными пользователем требованиями и разрабатываемой под проект программой испытаний
Кислородный анализ до 1 ppb
Тестирование углеводородов до 20 ppb
Параметры измерений:
Мы понимаем, что системы спец газоснабжения должны обслуживаться профессионально и вовремя. Сервисная модель RTES позволит снизить риски, связанные с безопасностью людей, повреждения дорогостоящего технологического и инженерного оборудования
Анализ влажности до 1 ppb
Тестирование твердых частиц до 0,014 мкм